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과산화수소 플라즈마 멸균 시스템
2015-10-20
관리자
(주)케이씨텍
기술마케팅
2008
본 기술은 플라즈마 발생기의 전원 전극과 멸균 대상물 사이에서 플라즈마가 발생되는 것을 방지할 수 있는 과산화수소 플라즈마 멸균 시스템으로, 트레이에 놓인 멸균 대상물이 수용되는 멸균 챔버, 멸균 챔버로 과산화수소를 공급하기 위한 과산화수소 공급기, 멸균 챔버 내의 기체를 배기하도록 멸균 챔버와 배기관을 통해 연통하는 진공 펌프 및 멸균 챔버 내에 플라즈마를 발생시키기 위한 시스템이다.
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대면적 기판 이송장치 관리자 2015-10-20 14:32:35
프리믹서 관리자 2015-10-20 14:31:33